Ионный источник Кауфмана — страница 9

  • Просмотров 1768
  • Скачиваний 34
  • Размер файла 260
    Кб

Кауфмана по сравнению с другими имеет ряд существенных преимуществ: низкое напряжение разряда (20 В), благодаря чему ионный пучок содержит небольшое количество примесей (10-6%) и имеет малый энергетический разброс; механизм поддержания стационарного разряда позволяет применять многолучевое извлечение ионного пучка и работать с однородными потоками большого диаметра; осцилляция электронов позволяет использовать низкое

давление в разрядной камере, что снижает потери пучка и уменьшает загрязнение мишени; источник имеет высокий газовый к.п.д. (80 %) и высокий энергетический к.п.д. Однако этот источник имеет ряд недостатков конструкции: использование термокатода ограничивает срок службы источника и не позволяет работать с химически активными рабочими веществами, кроме того, плазма в магнитном поле подвержена неустойчивостям, ухудшающим

стабильность параметров ионного пучка и его оптические свойства. Типичные параметры технологического источника Кауфмана ток ионов (Аr+) 10 мА, напряжение разряда 20 В, напряжение на ускоряющем электроде 20кВ. Существуют возможности улучшения конструкции этого ионного источника, в частности применение мультикатодной и мультипольной систем. Применение ионных процессов позволяет повысить точность изготовления микроструктур и

создать высокопроизводительное автоматизированное промышленное оборудование. СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ Технология ионных источников, В.В. Коткин, Москва, Учебное пособие МИФИ, 1990г, 86 стр. Интенсивые электронные и ионные пучки. С.И. Молоковский А.Д.Сушков, Москва ,Энергоатомиздат 1991г , 302 стр. . Физика и технология источников ионов. Я. Браун, Москва, Мир 1998г, 420 стр. Обзоры по электронной технике. «Реактивное ионное

травление», выпуск 1 (1010) 1984 г. Технология материалов электронной техники, В.В. Крапухин, И.А. Соколов, Г.Д. Кузнецов, Москва МИСИС, 490 стр. 1995 г.