Кремний, полученный с использованием "геттерирования" расплава — страница 7

  • Просмотров 1614
  • Скачиваний 353
  • Размер файла 58
    Кб

механизма геттерирования, ко­торый не имеет ограничения по пересыщению и служит «дрейфовым насосом», обеспечиваю­щим уменьшение концентрации примеси в объеме кристалла. Анализ результатов расчетов позволяет вы­делить следующие моменты, определяющие свой­ства процессов ВГ. n эффективность геттерирования является функцией температуры, причем существует оп­тимальная температура для максимальной эф­фективности этого

механизма геттерирования; n геттер (преципитат SiO2) действует не только как сток для примесей, но и как источник междоузлий Si, которые активируют процесс ВГ; n собственные междоузлия кремния, инжек­тируемые растущим преципитатом в объем кри­сталла, взаимодействуют с геттерируемыми ато­мами, и напряжения влияют на увеличение дрейфового потока.